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Bit.Techトップ > 半導体・液晶プロセス装置消耗部品

プロセス装置　主な製品

イオン注入装置	ソースヘッド構成部品	ビームライン〜各種部品
スパッタ装置	各種シールド、ターゲット	シールド類のリサイクル
CVD	アルミ電極	各種構成部品
エッチャー	シリコン、アルミ電極	ポリイミド系樹脂部品
拡散装置	石英部品	テフロン部品
露光装置	搬送系セラミック部品	ミラー・ガラス類及び再生
塗布装置	搬送系セラミック部品	ウエハー周辺樹脂部品

• 各部品オーダーメイド承ります。
• 機構や部品の改善・改造を設計からお手伝いします。